独立的 HHG 技术允许

10月23日下午成功举办的“新驰神湾·创未来”——2025科大硅谷（上海）推介会中，合肥浩宇星兴科技有限公司产品经理郑扬子博士受邀发表主题演讲。本次活动由已成资的科大硅谷服务平台（安徽）有限公司主办，安徽汽车创新中心、上海合成生物创新中心联合承办。本文内容根据现场演​​讲整理而成。郑扬子：尊敬的各位领导、各位专家、各位同事，大家下午好！感谢资本的邀请。我也很荣幸代表合肥昊宇芯光科技有限公司向大家介绍我们在极紫外（EUV）光源和高次谐波发生（HHG）技术领域的探索和发展。分享nowon分为很多部分：我们是谁、我们做什么、我们的核心技术路线、应用成果以及我们对未来的思考。希望通过这次交流，让大家对“国产极紫外光源”这个看似专业却与主要国家生产能力相关的话题有更清晰的认识。 合肥浩宇芯光成立于2023年，是一家年轻但拥有深厚专业积累的高科技企业。我们专注于发展先进的激光应用技术和半导体测量技术。我们总部位于合肥，并在上海、深圳、昆明、北京、成都、香港设有分支机构。我们的团队来自极紫外激光、阿秒物理、半导体测量等前沿领域。我们的成员包括国外高层次国家人才以及长期活跃在国际行业的工程专家。昊宇芯光的愿景是成为全球领先的先进激光应用企业化科技公司；我们的使命是专注先进激光应用技术，推动行业发展与创新；我们的价值观是以人为本、充满激情、投入、开放、创新。目前，我们的技术能力覆盖了从软X射线（SXR）到极紫外（EUV）再到真空紫外（VUV）的整个光谱范围。我们的产品和解决方案广泛应用于超快光谱、科学科学、先进光刻、材料科学、量子技术、生物医学和高分辨率成像等领域。在更直接的层面上，这些技术为半导体制造、芯片研发、纳米器件测试等提供了强有力的支持。技术核心：HHG——众多路线的激光技术和光源中的强紫外激光源，高次谐波产生（HHG）是昊宇核心光的主要部分。我们都知道，传统EUV光源主要有两条技术路线高温源：一种是激光等离子体（LPP），另一种是放电等离子体（DPP）。这两条路线功率较高，但系统复杂，污染治理难度大，成本昂贵。相比之下，HHG技术采用了完全不同的方法。它通过飞秒激光与稀有气体的相互作用产生非线性响应中的高次谐波，从而发射10-50 nm波段的强紫外光。这种光源有很多令人惊奇的特点：第一，体积小，成本低。整个系统可以部署在桌面上，比传统EUV光源体积更小；二是均匀度高，长度可调。光束均匀度高，可覆盖多波段，具有准连续超宽光谱输出；那么，它就具有很强的工程可行性。无需复杂的EUV多层镜或金属靶材污染控制，系统稳定且维护成本低。库雷目前，ASML、Intel、三星、台积电等国际公司已开始将HHG技术应用于测量和测试，以证明其产业化潜力。美国NIST（国家标准与技术研究院）也将HHG称为“宽带-超快-相干三位一体的最佳路线”，IRDS 2024国际半导体技术路线图明确指出HHG是下一代EUV测量的关键技术。换句话说，HHG不仅仅是一种“美丽的实验室现象”，而且是半导体测试、光刻和先进材料研究的唯一方法。从科学突破到工程实施：HHG高次谐波发生技术原理的“范式革命”可以追溯到20世纪90年代。通过“三步模型”——电子电离、加速、复合——将激光脉冲能量有效地转换成更高的频率谐波光，最终产生强烈的紫外线辐射。这一机制的突破，使人们首次在“阿秒”（10⁻18秒）时间尺度上观察到电子的运动。在过去的几十年里，HHG技术已经从“经典光源”转向“量子光源”。其转换效率达到0.01%，应用深度也从纳米结构表征扩展到阿秒时间尺度和量子分辨率。这意味着我们不仅可以“看到”物质的结构，还可以“看到”电子的运动，这是人类测量史上的里程碑。如今，昊宇芯光的使命是将这项高度科学的技术转化为可供工业使用的设备。我们希望科研成果能够真正落地，开发出工业客户可以直接使用的高性能EUV光源。在工业应用中，HHG表现出出色的荧光效果灵活性和实用性。首先，在掩模和薄膜检查中，EUV 的波长可以穿透薄膜掩模，从而能够准确识别可印刷的缺陷。目前全球掩模缺陷检测市场规模2024年约为128亿元人民币，预计2030年将达到238亿元人民币。其中中国市场占比约35%-40%，预计到2030年将突破87亿元人民币。在该领域，ESOL旗下三星公司主导了HHG技术的应用，并于2025年完成了约54美元的B轮融资。我司昊宇芯光还与领先的行业客户签署了合作备忘录（MOU），并与行业领先的口罩设备制造商建立了深度合作。其次，在重叠测量中，HHG光源比传统电子束检测具有显着优势。电子束检测虽然精度高，但扫描速度慢，通量低；惠le HHG-EUV光源检测 基于光学成像原理，速度快、分辨率高，可实现高通量检测。 2023年Overlay检测市场规模约为12亿美元，预计2030年将达到15亿美元。第三，在晶圆检测和EUV相干成像方面，HHG展现出独特的优势：分辨率比DUV光源好10倍以上，可以识别小于5纳米的缺陷；检测速度比电子束快100至1000倍；光子能量可控，可实现非接触、无损检测；它支持三维成像，可用于FinFET结构和堆叠芯片的内部缺陷检测。此外，我们开发结合AI学习的智能算法，提高缺陷识别的灵敏度和自动化水平。科研市场：带来大型科学装置“b”在科研应用方向上，HHG显得尤为重要。目前，虽然世界各地的同步辐射装置和自由电子装置都可以产生高亮度的EUV光，但都存在投资大、使用门槛高的问题。科研团队往往要排队三到六个月，每次实验花费数十万元。浩宇芯光希望改变这种状况。我们的愿景是让科研设备民主化。通过桌面HHG系统，我们可以实现连续不断的实验。光谱EUV在3米×1.5米的空间内输出，光谱覆盖红外到软X射线范围，兼具高亮度和多波长波长，研究人员可以在自己的实验室中完成阿秒物理、超快光谱、全息光刻和量子成像等前沿研究。不仅降低了面包科学研究的成本，也让中国研究人员能够在更大的时间尺度上进行创新实验。从种子源到系统集成的全链条能力意味着我们提供完整的系统解决方案，从激光种子源和HHG模块到多功能光束线和成像检测系统。该产品具有以下特点：高功率、超短脉冲、超宽谱输出；输出光谱单色可调；空间相干性高，稳定性极高；模块化和定制化设计，适应不同的应用场合；桌面的大小只有大型设备的万分之一。目前，我们已成功研制出国内首套13.5纳米波长、微瓦级飞秒激光光源，并获得14纳米节点光刻工艺的有效验证。从国际边界到本土创新，浩宇李芯ght的核心团队拥有世界一流的水准。我们的首席科学家曾担任美国KMLABS极紫外激光技术负责人，带领团队开发并商业化了世界上第一个基于HHG的EUV飞秒激光器。该成果荣获Laser Focus世界创新奖（光电行业奥斯卡奖）和棱镜奖（光电行业诺贝尔奖）两项国际顶级奖项。如今，这个团队已将十几年的国际经验带回中国，希望用国际领先的科技成果服务中国的产业转型和科技自主。极端的紫外线光源不仅仅是科学研究仪器，它们是整个现代制造系统的基础工具。从芯片制造到测量测试，从定量材料到生物技术，EUV光源的能力决定了物体成像的能力。我们能看到多深，我们能有多详细，以及我们能多快测量。过去，这一领域几乎被国外公司垄断。今天，我们正在一步步打破技术壁垒，把只有大型科学装置才能实现的能力变成可以在实验室使用、集成到生产线的设备。未来十年，全球制造业将从“光刻制造”走向“光智能制造”。昊宇芯光希望通过自主的HHG技术，让中国在EUV光源和测试设备领域拥有真正的话语权。我们将持续推动科研与产业融合，将复杂的科学原理转化为工程解决方案，为半导体工业、科学科学、阿秒物理等领域提供坚实的光学基础设施。希望在今后的合作中，与专家、合作伙伴共同努力，把紫外光关键技术变成推动中国先进制造的“新引擎”。本文为作者独家稿件，不代表平台观点。未经许可不得转载，否则将追究法律责任。关注微信观察者网，每天阅读有趣文章。 特别声明：以上内容（如有则包括照片或视频）由自媒体平台“网易号”用户上传发布。本平台仅提供信息存储服务。 注：以上内容（包括图片和视频，如有）由网易HAO用户上传发布，网易HAO为社交媒体平台，仅提供信息存储服务。